氣體質量流量控制器 - SFC5000系列
高精度和可重復性
優(yōu)異的長期穩(wěn)定性和可靠性
寬動態(tài)范圍(量程比1000:1)
超快氣體流量控制(穩(wěn)定時間小于50毫秒)
多氣體、多量程可選和氣體識別功能
數(shù)字和模擬接口
靈活的機械接頭選項:鈑金式安裝、VCR和VCO,Swagelok、C-/W-Seal等。
校準可追溯至NIST標準
源于創(chuàng)新CMOSens? 技術的杰出價值
可根據(jù)要求提供定制化產(chǎn)品
產(chǎn)品介紹
SFC5000系列氣體質量流量控制器產(chǎn)品描述
SFC5000系列氣體質量流量控制器有助于實現(xiàn)寬動態(tài)測量范圍內極其精確和可重復的控制。氣體質量流量控制器的出色性能基于Sensirion創(chuàng)新的CMOSens?技術,它在一個CMOS硅芯片上集成了高精度傳感器元件和模擬/數(shù)字信號處理電路。在芯片上,傳感器信號被直接轉換成完全校準,帶溫度補償?shù)臄?shù)字信號。該質量流量控制器具有模擬和數(shù)字接口。此外,它們實現(xiàn)了新的可選功能,如多氣體測量、氣體識別和自檢能力。SFC5000系列氣體質量流量控制器是整個工業(yè)和醫(yī)療市場各種應用的理想解決方案。
SFC5000系列氣體質量流量控制器特性
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高精度和可重復性
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優(yōu)異的長期穩(wěn)定性和可靠性
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寬動態(tài)范圍(量程比1000:1)
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超快氣體流量控制(穩(wěn)定時間小于50毫秒)
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多氣體、多量程可選和氣體識別功能
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數(shù)字和模擬接口
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靈活的機械接頭選項:鈑金式安裝、VCR和VCO,Swagelok、C-/W-Seal等。
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校準可追溯至NIST標準
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源于創(chuàng)新CMOSens? 技術的杰出價值
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可根據(jù)要求提供定制化產(chǎn)品
SFC5000系列氣體質量流量控制器應用領域
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分析儀器(如氣相色譜、質譜)
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醫(yī)療設備(如呼吸機、麻醉)
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工業(yè)過程自動化(如涂層、熱處理)
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半導體行業(yè)(如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積)
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